硅片稱重設備是半導體、光伏等行業中用于精確測量硅片質量的關鍵設備，其精度和穩定性直接影響生產效率和產品質量。以下從設備類型、選型要素兩方面詳細說明：

一、硅片稱重設備的主要類型

根據應用場景、精度要求和自動化程度，硅片稱重設備可分為以下幾類：

1. 實驗室級精密天平

特點：精度（通常達 0.01mg~1mg），適用于小批量、高精度的硅片質量檢測，如研發階段的樣品分析。

典型設備：

分析天平：采用電磁力平衡原理，支持防風罩設計，減少環境干擾。

微量天平：針對超薄硅片（如厚度＜100μm）或小尺寸硅片（如直徑＜50mm），精度可達 0.1μg。

2. 生產線在線稱重設備

特點：集成于生產流水線，實現硅片稱重的自動化、高速化，適配大批量生產。

典型設備：

自動化稱重模塊：搭配傳送帶、機械臂，可自動完成硅片上料、稱重、下料，稱重速度可達 100~500 片 / 分鐘。

稱重分選機：在稱重同時對硅片按質量區間分選，常用于光伏硅片的等級劃分。

3. 專用硅片稱重系統

特點：針對硅片特性（如薄片易變形、表面潔凈度要求高）定制設計。

核心功能：

非接觸式輔助支撐（如氣流懸浮），避免硅片損傷。

防污染結構（如不銹鋼材質、防靜電涂層），適配半導體級硅片。

數據自動記錄與追溯（對接 MES 系統），滿足行業溯源要求。